由中芯国际集成电路制造有限公司承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)“65/45/32nm工艺”项目,在科技部、北京市和上海市的支持下,成功研发出65nm产品工艺,各项技术指标均达到国际主流技术水平。现已进入批量生产阶段。
电子专用材料制造
技术展示
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