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Ti/TiN膜层清洗剂

需求编号:201911061436260001 查看需求方
  • 预算

    1.00
  • 需求类型

    服务需求
  • 生命周期

    智能化设计、仿真和验证,智能化交付,智能化运行
  • 竞标截止日期

    2020-03-31
  • 期望完成日期

    2020-05-29

行业分类:

制造业,其他制造业

需求分类:

科技成果服务,科技成果整合,技术需求

需求描述

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用途/背景

半导体PVD设备部件Collimator,其材质为纯钛,在膜层沉积中起垂直导向作用,会有沉积材料TiN附着于部件表面,厚度最大约1.5mm;由于此部件精度要求高,且极易形变,无法通过物理方式进行去膜;由于基材与膜材比较类似,此部件采用化学清洗方式极易对基材造成蚀刻部件基材蚀刻率要求<5%。

技术难点

降低或防止基材被腐蚀控制清洗形变量。

研发进度

采用氨水+双氧水方式进行去膜,但仍会腐蚀基材,蚀刻率在9~12%采用喷砂物理去膜方式,会导致部件变形报废。

对供应商的要求:

全部供应商
接包地域:全国

附件:

发布时间:2019-11-06 14:42:10    江苏省-淮安市-市辖区

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